【喜报】全国首发:石家庄安瑞科磷烷与氢气混合气管束式集装箱实现批量交货
3月20日,由石家庄安瑞科研制成功的全国首台磷烷与氢气混合气管束式集装箱实现交货,标志着电子气体储运装备领域的新突破。
石家庄安瑞科作为国内规模最大的电子气体储运装备供应商,自2008年起始终致力于为行业及客户提供高品质的产品。在半导体器件制备工艺中,经常采用一定浓度的磷烷和氢气混合作为重要的N型掺杂源,由于磷烷与氢气混合气毒性程度极高,目前主要采用Y-ton气瓶或者焊接小气瓶进行储运。多年来,公司始终践行“支持芯片强国、践行民族制造”的发展战略,深入研究磷烷与氢气混合气储运装备核心关键技术,快速研发推出大容积管束式集装箱,现已实现批量推广。
该管束式集装箱作为全国首台针对磷烷与氢气混合气的专用大容积储运装备,将极大促进半导体行业的发展,大幅度降低气体公司的运营成本,进一步丰富和扩大石家庄安瑞科“电子气体装备超市”的数量与规模,保持核心技术的领先优势。